【半導体技術】産総研など、SiCウェハの鏡面研磨を従来比で12倍高速化する技術を開発
産総研など、SiCウェハの鏡面研磨を従来比で12倍高速化する技術を開発著者:波留久泉
産業技術総合研究所(産総研)、ミズホ、不二越機械工業の3者は9月1日、次世代パワー半導体材料であるSiCウェハの平坦化を高速で実現する新たな研磨技術を開発したことを発表した。同成果は、産総研 先進パワーエレクトロニクス研究センター ウェハプロセスチーム 加藤 智久 研究チーム長らの共同研究チームによるもの。
科学ニュース＋
投稿時速：14res/h
【宇宙開発】アメリカの宇宙船は2枚看板へ…新型「スターライナー」、5/6夜に打ち上げ
-
16res 0.2res/h 29.2%
【薬物】合成麻薬・大麻に似た16物質を指定薬物へ 1D-LSDなどで検出
-
4res 0.3res/h 14.2%
【宇宙開発】アメリカの宇宙船は2枚看板へ…新型「スターライナー」、5/6夜に打ち上げ
-
23res 2.1res/h 14.2%
【AI】GPT-4が道徳テストで人間の大学生より優れたスコアを示す
-
107res 0.8res/h 14.2%
【理系教育】理工系「女子枠」40大学に 学内外から「逆差別」などの意見も
-
109res 0.4res/h 14.2%
【NASA】地球から240億キロ、ボイジャー1号システム復旧に成功 5カ月ぶりに解読可能データ受信
-
439res 0.7res/h 14.2%
【交通】世界初の「走行中にEVをワイヤレス充電できる高速道路」がまもなく誕生 米
-
10res 0.9res/h 0.0%
【ナゾロジー】ヒゲクジラは1600キロ先の仲間にも届く「発声システム」を進化させていた!(Nature)
-
3res 0.2res/h 0.0%
【新型コロナ】「新型コロナのゲノム配列」を初めて公開した中国科学者、研究室の閉鎖に反発して座り込み
-
1res 0.0res/h 0.0%
【脳科学】母乳の抗体が子供の脳の発達に影響 群馬大など細胞レベルで解明 神経細胞の密度に違い
-
17res 1.5res/h 0.0%
【話題】「子供の科学」創刊から10年分、大正から昭和にかけてのバックナンバーが電子書籍で復刻
