【半導体材料】KEKなど、ミューオンにより二酸化バナジウム内での水素の拡散経路を解明
KEKなど、ミューオンにより二酸化バナジウム内での水素の拡散経路を解明高エネルギー加速器研究機構(KEK)、東北大学、茨城大学、J－PARCセンターの4者は3月5日、荷電レプトン(軽粒子)の第2世代の「ミューオン」が電子を捕獲して水素原子のように振る舞う「擬水素(ミュオジェン)」を用いることで、次世代の抵抗変化型メモリ(ReRAM)用材料として期待される「二酸化バナジウム」(VO2)内で不純物である水素が2種類の拡散経路を持つこと、そのうちの1つは半導体素子に適した高い拡散係数を示すことを発見したと共同で発表した。
